铝钛共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究

摘要：

用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了铝钛共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜,研究了溅射压强对TAZO薄膜的微观结构和光电特性的影响.研究结果表明,所制备的TAZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射压强为7.5 Pa时,薄膜的最小电阻率为3.34×10-4Ω·cm.薄膜的可见光区平均透过率大于89%.溅射压强对薄膜的电阻率和微观结构有显著影响.

关键词：TAZO薄膜、透明导电薄膜、溅射压强、磁控溅射

所属期刊栏目：26

分类号：TN304.2(半导体技术)

在线出版日期：2011-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：161-164