不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长

摘要：

氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性.通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(0 0 2)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长.对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374 nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜.通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的.

关键词：氧化锌、薄膜、生长、MOCVD

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

资助基金：NCET05-0326;NSFC60576054, 60576043, 60576056, 60876013;Project of Changchun Science and Technology Plans2006303;Project of Ministry of Construction P. R. China and Department of Education of Jilin Province

在线出版日期：2009-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：666-669