半导体及平板显示制造业中的空气非接触搬运技术

摘要：

介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用.阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问题及解决方案,分析了该技术的发展前景.

关键词：空气非接触搬运技术、半导体、液晶显示面板、制造装备

所属期刊栏目：24

分类号：TP211+.32;TM285(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：404-408