LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进

摘要：

介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进.通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小.

关键词：LCOS、微显示、CMP、镜面电极

所属期刊栏目：23

分类号：TN27;TN873+.93(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家"973"重点基础研究发展计划资助项日2003CB314705

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：629-632