10.3969/j.issn.1007-2780.2008.03.014
HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析.文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析.给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明.
半色调掩膜、灰色调掩膜、薄膜晶体管液晶显示器、曝光、衍射
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O436.1;TN141.9(光学)
2008-08-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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