HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果

摘要：

针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析.文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析.给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明.

关键词：半色调掩膜、灰色调掩膜、薄膜晶体管液晶显示器、曝光、衍射

所属期刊栏目：23

分类号：O436.1;TN141.9(光学)

在线出版日期：2008-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：327-333