丝网印刷三极CNT-FEA的研制

摘要：

制作三极型场发射阵列(FEA),传统上都依赖薄膜工艺及光刻技术.这在很大程度上限制了印刷型碳纳米管阴极的优势.通过改进全丝网印刷工艺,包括一项改进的栅极烧结工艺和一项洁网技术,成功地制作出,32×32的三极型以碳纳米管为阴极的场发射阵列(CNT-FEA).该三极型CNT-FEA具有显著的栅控特性.栅压在150～300 V可以对阳极电流实现良好的控制.栅控电流放大系数超过180.

关键词：碳纳米管、场发射、丝网印刷

所属期刊栏目：23

分类号：TN383.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目60036010,60476037;国家"863"项目2001 AA313090

在线出版日期：2008-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：178-182