10.3969/j.issn.1007-2780.2008.02.011
丝网印刷三极CNT-FEA的研制
制作三极型场发射阵列(FEA),传统上都依赖薄膜工艺及光刻技术.这在很大程度上限制了印刷型碳纳米管阴极的优势.通过改进全丝网印刷工艺,包括一项改进的栅极烧结工艺和一项洁网技术,成功地制作出,32×32的三极型以碳纳米管为阴极的场发射阵列(CNT-FEA).该三极型CNT-FEA具有显著的栅控特性.栅压在150~300 V可以对阳极电流实现良好的控制.栅控电流放大系数超过180.
碳纳米管、场发射、丝网印刷
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TN383.1(半导体技术)
国家自然科学基金项目60036010,60476037;国家"863"项目2001 AA313090
2008-07-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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178-182