平板显示器中ITO透明电极制备的研究

摘要：

利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌.比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和ReCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响.最后指出在25士2℃的环境下,刻蚀液HCl、H20和FeCl3·6H2O的配比满足3 L:1 L:(20～30 g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1 nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极.

关键词：平板显示器、ITO透明电极、湿法刻蚀

所属期刊栏目：23

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：福建省科技攻关项目2004HZ01-2

在线出版日期：2008-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20