纳米光学金刚石薄膜的分析与改进

摘要：

由于极其优良的热学和光学性能,纳米金刚石薄膜极有可能应用于背投电视的激光光学窗口.文章通过在热丝辅助化学气相沉积法中采用偏压增强成核(BEN-HFCVD),成功地在(100)硅衬底上制得了适于作为光学窗口的高质量的光学级纳米金刚石薄膜,采用的偏压为-30 V.通过表征制备的纳米金刚石薄膜,发现它具有光滑的表面,表面均方根粗糙度(RMS)约为10 nm,并且对自支撑纳米金刚石薄膜进行透射光谱分析得到其透射率达到了50 %.

关键词：纳米金刚石、光学性质、表面粗糙度、偏压增强成核-热丝辅助化学气相沉积法

所属期刊栏目：22

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60577040;Shanghai Foundation of Applied Materials Research and Development0404;Nano-technology Project of Shanghai0452nm051;0552nm046;Shanghai Leading Academic DisciplinesT0101

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：548-552