驱动电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造技术

摘要：

基于电子墨水技术的电子纸是目前最有竞争力的类纸媒显示器.实现电子墨水电子纸的柔性是这项显示技术的关键之一.文章分析了当前电子墨水电子纸的主要研究方向,详细介绍了基于金属柔性基板的TFT制造技术、基于固定塑料基板的以激光释放塑基电子工艺(EPLaR)为代表的TFT制造技术、以激光退火表面释放技术(SUFTLA)为代表的TFT转移技术以及有机薄膜晶体管(OTFT)技术等4项柔性TFT背板的主要实现方法.对比了它们的材料选取,工艺特点和器件性能,分析了各项柔性TFT背板工艺的优缺点,提出了改进方向.

关键词：电子纸、电子墨水、薄膜晶体管、柔性金属基板、激光释放塑基电子技术、激光退火表面释放技术、有机薄膜晶体管

所属期刊栏目：22

分类号：TN141(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金60576056

在线出版日期：2007-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：167-175