生长温度对类金刚石膜结构和发光性质的影响

摘要：

使用脉冲激光沉积技术制备了系列无氢类金刚石薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收光谱和光致发光光谱,研究了薄膜结构和光致发光性质与制备条件的依赖关系.结果表明,这种薄膜是由少量sp2键和大量sp3键组成的非晶碳膜.薄膜的光学带隙在1.68～2.46 eV,发光在可见光区呈宽带结构.生长温度能够对类金刚石薄膜的结构和发光性质产生较大影响.当生长温度从室温升高至400 ℃时,sp2团簇的变大使C原子的有序度增强,从而导致薄膜的光学带隙变窄,发光峰红移且半高宽变小.

关键词：类金刚石薄膜、脉冲激光沉积、拉曼光谱、光致发光

所属期刊栏目：21

分类号：TN101.3(真空电子技术)

资助基金：教育部科学技术研究项目Y2002A09

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：236-240