集成薄膜晶体管液晶空间光调制器光调制特性的实验研究

摘要：

提出一种测量液晶空间光调制器(liquid crystal spatial light modulator,LCSLM )光调制特性(振幅调制特性和相位调制特性)的新方法.采用Mach-Zehnder干涉仪光路,在其中一臂中引入4f成像系统,把LCSLM放置在4f系统的输入面上作为图像输入器件,用位于4f系统输出面上的高性能CCD记录输出图像或输出图像与参考光的干涉条纹.根据输出图像的强度和强度均匀性测量LCSLM的振幅调制特性;根据干涉条纹分布测量LCSLM的相位调制特性.与已有方法相比,该方法不仅可测量LCSLM的振幅和相位调制特性曲线,还可测量器件单个像元上的振幅和相位调制特性.文中以一种薄膜晶体管扭曲向列型LCSLM为例,测量了其振幅调制响应曲线、振幅调制均匀性和相位调制均匀性,实验结果证明了该方法的正确性和实用性.

关键词：液晶空间光调制器、振幅调制、相位调制、干涉测量

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分类号：TN141.9(真空电子技术)

资助基金：教育部科学技术研究项目Y2004G01

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：412-416