液晶光阀组式光刻快门控制电路的研究与设计

摘要：

通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS75451与门模块对液晶光阀组进行驱动,通过AT89C51单片机控制液晶光阀组的亮暗,实现了对液晶光阀组的控制,起到光刻快门的作用.通过实际光刻试验,液晶光阀组式光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计的要求,刻出的图案清晰,线条陡直,证明液晶光阀替代穿孔带用于光刻快门是完全可行的.

关键词：液晶光阀组、光刻快门、控制电路

所属期刊栏目：20

分类号：TN141.9;TN702(真空电子技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目Q03G04Z

在线出版日期：2005-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：333-336