液晶光阀在光刻快门中的应用研究

摘要：

目前,国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门,原有的穿孔带式快门有很多缺点,为了避免这些缺点,对液晶光阀作为快门的可行性进行了研究.通过对抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的关系进行理论推导,构建了它们之间的数学模型,对液晶光阀的特性进行分析并进行了曝光控制实验,为设计一种智能型液晶光阀曝光控制装置提供了理论依据.

关键词：液晶光阀、光刻快门、感光特性、光效、曝光量

所属期刊栏目：19

分类号：TN141.9(真空电子技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目Q03G04Z

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：468-471