ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究

摘要：

以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜.研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响.制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN-LCD透明电极的要求.

关键词：ITO薄膜、溶胶-凝胶法、方阻、透光率、液晶显示器

所属期刊栏目：19

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：陕西省教育厅资助项目03JK161

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：376-379