外延纳米金刚石膜及其场发射特性

摘要：

研究了纳米金刚石外延薄膜的制备方法及其场发射特性.采用电泳方法将粒径20nm以下的纳米金刚石微晶沉积到Ti电极衬底上,用热丝CVD方法在纳米金刚石微晶薄膜上再外延生长一层含非晶碳金刚石薄膜.用Raman光谱研究了外延纳米金刚石薄膜的结构并在高真空条件下研究了其场发射特性.

关键词：纳米金刚石、外延、场发射

所属期刊栏目：18

分类号：TN873.95;O484.1(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家自然科学基金50072029

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：164-168