硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

摘要：

封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.

关键词：真空微电子、压力传感器、模拟测试、压力特性、测试

所属期刊栏目：17

分类号：TN783.95(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金69871029;国家高技术研究发展计划863计划512-05-10-01-9;国家重点基础研究发展计划973计划G1999033102

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38