10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.006
硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.
真空微电子、压力传感器、模拟测试、压力特性、测试
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TN783.95(基本电子电路)
国家自然科学基金69871029;国家高技术研究发展计划863计划512-05-10-01-9;国家重点基础研究发展计划973计划G1999033102
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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