10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.008
TFT栅线及阵列的缺陷分析
对TFT(Thin Film Transistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析.在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率,改善显示质量.
TFT器件、阵列缺陷、刻蚀
14
TN14(真空电子技术)
中国科学院资助项目;吉林省科技厅科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
126-130
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10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.008
TFT器件、阵列缺陷、刻蚀
14
TN14(真空电子技术)
中国科学院资助项目;吉林省科技厅科技攻关项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
126-130
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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