锗二次阴极-直流辉光放电质谱法测定高纯石英中9种杂质元素

摘要：

锂、铍、硼、钠等作为高纯石英中的常见杂质元素,对产品的性能有重要影响,建立相应的测定方法至关重要.实验采用锗罩作为二次阴极,建立了直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)测定高纯石英中锂、铍、硼、钠、镁、铝、硫、钛、铜等9种杂质元素的方法.所用锗罩的厚度为0.25 mm,罩上有4个尺寸为1 mm×8 mm的狭缝,每个狭缝间隔1 mm.实验还考察了放电参数对基体信号强度、信号稳定性、基体和锗罩信号比的影响.实验表明,当在1.3 mA/1 350 V的放电参数下,28Si的信号强度可达1.3×109 cps,放电稳定,硅、锗的信号比为1 ∶40.按照实验方法测定高纯石英样品中锂、铍、硼、钠、镁、铝、硫、钛、铜,结果的相对标准偏差(RSD,n=5)均在30％以内;还对比了锗罩、钽罩对高纯石英测定结果的影响,结果表明,由于钽罩中铜含量较大,导致铜测定结果差异较大以外,其余元素测定结果基本一致.采用锗罩测定高纯石英中杂质元素的检出限可达ng/g级别,低于采用钽罩的检出限.

关键词：直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)、锗罩、高纯石英、杂质元素、钽罩

所属期刊栏目：42

分类号：O657.63(分析化学)

在线出版日期：2022-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29