扫描电镜测定铝钛硼丝物相的影响因素探讨

摘要：

扫描电镜(SEM)测定常规样品物相定量的准确度已经令人满意,但还有部分特殊的较难检测样品的能谱分析存在较大的误差,需要采用非常规的技术予以分析.实验以铝钛硼丝中的TiB2和TiAl3物相为例研究了参数设置对钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜检测同时含有轻重元素的物相和中等原子序数以上物相的影响,讨论了加速电压、工作距离等参数对铝钛硼丝物相定性定量分析的影响.研究结果表明,对于同时含有轻重元素的物相想要同时准确分析其中的元素含量,需要采用低的加速电压;对于实验中的物相TiB2,为了能够获取充足的Ti元素的特征X射线计数,最低加速电压选择为6 kV;对于不合轻元素的物相TiAl3,采用常用的加速电压15～20 kV分析即可.工作距离的选择,每台设备都有固定的检出角,一般设置为35.,为提高检测结果的准确性,实验时将工作距离调到每台设备的最佳工作距离即可.

关键词：钨灯丝扫描电镜;场发射扫描电镜;轻元素;重元素;加速电压;工作距离;铝钛硼丝;物相

所属期刊栏目：42

分类号：O657.34;O657.62;TF125.2+2(分析化学)

在线出版日期：2022-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63