立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

摘要：

介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈.实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15～20W,最佳工作气压为50～100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响.采用射频功率为15W、氩气工作气压为60 Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强.

关键词：微型光谱仪、激发源、电感耦合等离子体、立体螺旋线圈、工作参数

所属期刊栏目：39

分类号：O657(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金61440006

在线出版日期：2019-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：8-14