辉光放电离子溅射在扫描电镜样品制备中的应用

摘要：

辉光光谱仪的样品激发方式是阴极溅射,逐层分离.这个特点决定了该技术也可用于扫描电镜的样品制备中.扫描电镜可以用于观测热镀锌板镀层中的各种相,但由于某些相的厚度太薄,截面无法观测.本文利用辉光光谱仪对热镀锌板样品进行表面溅射,用扫描电镜对得到的不同厚度处的"新"表面进行了形貌观测,用能谱仪进行成分分析,达到了观测镀层中几乎所有相的目的,表明辉光放电离子溅射是一种可行的扫描电镜样品制备方法.

关键词：辉光放电、溅射、扫描电镜、样品制备、热镀锌板

所属期刊栏目：31

分类号：O657.31(分析化学)

在线出版日期：2011-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10