电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅中18个痕量元素

摘要：

建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对光伏用多晶硅中B,Cu,Fe,Al,K,Ca,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,As,Mo,W,Cd,Pb共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法.以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样,称重法确定加入试剂的量.采用动态反应池(DRC)技术,在池内引入氨气(NH_3)作为反应气体来消除质谱干扰.在选定的条件下,被测元素的检出限为0.8～6.9 pg/g(3σ),样品的加标回收率在83.0%～106%之间,相对标准偏差(RSD)为0.27%～2.7%(n=11).所建立的分析方法实现了对光伏用多晶硅样品中痕量元素的全分析,实际样品的测定结果与参考值相符.

关键词：电感耦合等离子体质谱法、动态反应池、多晶硅、痕量元素

所属期刊栏目：29

分类号：O657.31(分析化学)

资助基金：科技创新强省项目2007AC001

在线出版日期：2010-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12