10.3969/j.issn.1000-7571.2006.04.011
基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展
结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势.
微电子机械系统技术、微机械加工技术、微型光谱仪、研究、进展
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O657.31(分析化学)
河北省教育厅科研项目2004408
2006-09-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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