集成电路芯片制造特种气体供应系统设计与施工工艺研究

摘要：

集成电路芯片制造业是目前世界上技术先进、竞争激烈的行业之一.在芯片制造过程中,高纯度、高洁净度的特殊气体是必不可少的原料,如何将这些特种气体安全、洁净地输送到生产所需的机台中供其使用是当前研究的重点.文章对集成电路制造工厂内特种气体供应系统深化设计、施工工艺和验收前的质量检测进行了研究,对特种气体管道供应系统中应重点关注的内容进行了论述,希望为相关研究人员提供参考.

关键词：集成电路、芯片制造、特种气体供应系统、施工工艺、质量检测

所属期刊栏目：8

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2023-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8