气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究

摘要：

MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多.由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化.因此,研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的.根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点,建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型,研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响.通过研究分析可知,气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大,进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大.气压在接近或者大于一个大气压时,MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大,因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压.

关键词：MEMS梳状线振动陀螺仪、阻尼系数、气压、黏性系数

所属期刊栏目：30

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：微型陀螺姿态测量与稳定技术513090602

在线出版日期：2009-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1024-1029