10.3321/j.issn:1000-1328.1998.04.005
压电驱动二维超精密微动工作台定位补偿系统的研究
本文首先介绍了压电驱动二维微动工作台定位补偿系统的结构特点,然后对微动工作台的性能进行了分析,给出了性能实测结果,最后研究了系统在超精密定位补偿方面的应用.
压电驱动、工作台、定位、补偿
19
V4(航天(宇宙航行))
中国科学院资助项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
28-31
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10.3321/j.issn:1000-1328.1998.04.005
压电驱动、工作台、定位、补偿
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V4(航天(宇宙航行))
中国科学院资助项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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