JGD提拉单晶炉生长控制的智能化

摘要：

激光单晶(JGD)提拉单晶炉是一种上称重自动直径控制激光单晶炉,该单晶炉采用高精密电子秤作为传感器.JGD提拉单晶炉控制软件以晶体质量为控制目标,而其他控制软件是以功率或温度为控制目标.该控制软件将晶体理论质量与电子秤实际质量进行比较,形成闭环负反馈,以微分、积分和比例(PID)理论智能控制实现晶体生长.自动控制生长出多种高品质晶体(如InSb、YAG、LYSO、TGG、Ti:Al2O3 等),生长过程无需人为干预.软件利用SQLServer数据库收集生长过程数据,实现大数据分析.结果表明,该软件集成了远程监视功能,可提高生产效率.

关键词：自动化、晶体、温场、数据库、数字化、智能化

所属期刊栏目：46

分类号：TN384;TN305(半导体技术)

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：529-533