薄膜材料弯曲测试方法的验证研究

摘要：

在国家标准《微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法》制定阶段,为验证该标准中测试方法的准确性和实用性,设计并制备了4种尺寸的悬臂梁结构,并利用纳米力学测试系统记录其弯曲形变过程,获取了待测结构的形变-应力曲线.通过该标准可实现薄膜材料弯曲力学性能的有效表征.对弯曲试验的测量数据进行分析,实验结果表明,基于该测试方法10次的重复性达到0.32%,同类型的测试结构具有较强的规律性,靠近悬臂梁根部的测试点表现出更高的机械刚度,与理论预测完全一致.因此,该标准中所采用的弯曲测试方法可重复性好,可用于薄膜材料的弯曲力学性能测试.

关键词：薄膜材料、微机电系统、悬臂梁、力学测试、弯曲试验、国家标准

所属期刊栏目：46

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;广东省重点领域研发计划

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：524-528