基于COM-MBVD混合模型的多模态声学响应研究与仿真

摘要：

耦合模(COM)模型广泛应用于声表面波(SAW)滤波器设计中,传统的单模COM模型不能拟合到远端的高阶水平剪切波、西沙瓦波等杂散模态.从单模COM模型出发,结合类似于 MBVD等效电路的谐振支路,实现COM-MBVD模型拟合多模态声学响应.并基于此模型搭建8阶梯形结构电路进行优化仿真.最终设计出中心频率为1 590 MHz,通带插入损耗小于1.6 dB,带内波动为1 dB,带宽为80 MHz(相对带宽为5%)的声表面波(SAW)滤波器.实际测试数据与仿真数据相符,验证了该设计方法的可行性.

关键词：COM模型、MBVD模型、梯形结构、SAW滤波器

所属期刊栏目：46

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：四川省科技计划基金资助项目2020YFJ0002

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：519-523