基于多孔氧化铝的高品质因数QCM湿度传感器的研究

摘要：

石英晶体微天平(QCM)传感器以频率形式输出信号,具有成本低、响应快、灵敏度高等优点,因而使用多孔α-Al2O3 作为湿敏材料来提高QCM传感器对湿度的检测灵敏度.基于QCM传感原理,通过COMSOL软件研究不同结构尺寸对传感器谐振频率、品质因数、导纳的影响,优化传感器的几何参数.探究传感器在一定湿度范围内的灵敏度和动态特性,实验结果表明,该传感器具有显著的湿度辨别能力,最大频率响应可达到13 kHz,灵敏度为155 Hz/(%RH),响应、恢复时间分别为20 s和8 s.因此,使用多孔α-Al2O3 作为湿敏材料的QCM传感器在湿度检测方面具有一定的可靠性和准确性.

关键词：石英晶体微天平(QCM)、α-Al2O3、湿度传感器、有限元仿真、品质因数、导纳

所属期刊栏目：46

分类号：TN384;TN751.2(半导体技术)

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：486-490