基于声子晶体的兰姆波谐振器品质因数改善机制研究

摘要：

针对兰姆波谐振器谐振频率在超过6 GHz时传输损耗高的问题,提出了一种基于具有明显带隙的声子晶体(PnC)阵列的锚杆,能有效提高薄膜铌酸锂兰姆波谐振器(LWR)的品质因数(Q),从而降低兰姆波滤波器的插入损耗.通过构建PnC结构有限元仿真模型研究了PnC结构的色散关系,采用PnC延迟线模型设计,研究了PnC阵列的传输特性,并通过建立谐振器性能的对比分析.结果表明,在谐振频率稳定的条件下,与传统均匀梁锚杆谐振器相比,PnC阵列锚杆谐振器的Q值提升了5倍.

关键词：锚杆损耗、微机电系统(MEMS)谐振器、声子晶体、品质因数、兰姆波

所属期刊栏目：46

分类号：TN65;TN75(电子元件、组件)

资助基金：四川天府峨眉计划

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：468-473