高灵敏度双轴加速度计结构设计与仿真

摘要：

该文设计了一种具有高灵敏度、低交叉耦合的双轴谐振式微加速度计,使用工型梁作为解耦梁,通过微杠杆机构实现力的放大,结构呈中心对称形式,采用差分检测工作方式.通过仿真分析对结构进行优化并完成加速度计整体结构设计,进而提高加速度计灵敏度,降低交叉耦合.对加速度计结构进行模态分析、灵敏度分析、交叉耦合分析和谐响应分析,结果表明,在±20g量程范围内,x向标度因数为423.6 Hz/g,y向标度因数为421.8 Hz/g,x向交叉灵敏度为0.000047％,y向交叉灵敏度为0.00078％.仿真结果验证了所设计结构的可行性.

关键词：双轴加速度计、高灵敏度、交叉耦合、有限元仿真、结构设计

所属期刊栏目：45

分类号：TP271(自动化技术及设备)

在线出版日期：2023-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：112-116