42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究

摘要：

钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料.该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体.经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80％;经X线摇摆测试,其半高全峰宽(FWHM)为28.4″,单晶性较好;采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试,居里温度偏差为4.4℃.声表面波性能测试结果表明,钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求.

关键词：钽酸锂、晶体、提拉法、声表面波滤波器

所属期刊栏目：45

分类号：TN384;TM22(半导体技术)

资助基金：总装备部材料支撑项目

在线出版日期：2023-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28