基于GRU神经网络的晶圆测试工艺控制方法

摘要：

压电驱动器位移输出的非线性特性,如迟滞的记忆特性及速率相关性,使压电驱动器的建模与控制较难.该文提出了一种基于门控循环单元(GRU)的新型位移输出控制方法.建立相应的位移输出实验平台来验证和分析压电驱动器的滞后现象.使用GRU模拟滞后的内存特性及采用两个全连接层来模拟速率依赖性.该模型是一个端到端系统,其中压电陶瓷和位移放大机构被视为一个整体.针对不同电压输入预测的输出位移量表明,该模型对速率相关的滞后具有很强的泛化能力.使用相同的循环神经网络结构构建逆模型,并进行实验测试.实验结果表明,所提出的位移输出控制法有效地削弱了压电驱动器的非线性特性,有利于将线性系统控制法与前馈补偿法相结合.

关键词：压电驱动器;迟滞非线性;位移输出控制;门控循环单元;晶圆测试

所属期刊栏目：44

分类号：TN384;TH273;TM22(半导体技术)

资助基金：技术攻关重点基金资助项目JSGG20201201100401004

在线出版日期：2022-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：111-117