压电微镜薄板的大挠度弯曲偏转角解析

摘要：

通过弹性力学对自由边界条件下的矩形薄板结构进行理论分析,建立了薄板结构的几何、物理及平衡方程.通过分析薄板纯弯曲情况,求得其挠度曲线函数表达式.运用COMSOL软件对基于压电陶瓷(PZT)材料的方形薄板在该条件下进行仿真分析,并通过参数辨识对仿真与理论进行曲线拟合,验证了理论与仿真的一致性.通过实验测试验证了仿真数据的真实性,并在此基础上解出方形薄板的偏转角度,实现了薄板在激光通信领域中对光束的偏转,进而达到精确控制光束偏转角度的功能.

关键词：矩形薄板;压电微镜;偏转角;参数辨识

所属期刊栏目：44

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61774138

在线出版日期：2022-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：42-47,52