单晶LNBAW谐振器有限元仿真研究

摘要：

利用离子注入剥离法(CIS)制备的铌酸锂(LN)压电薄膜可用于制备体声波(BAW)器件,近年来备受关注.滤波器的指标与谐振器的性能密切相关,但基于LN单晶薄膜的BAW谐振器,对其结构的仿真优化还未有较深入的报道.该文以LN单晶薄膜为核心压电层材料,构建了固态反射型(SMR)单晶薄膜谐振器有限元仿真模型,对其压电层厚度和布喇格反射层厚度进行了设计,并重点针对谐振器上电极的台阶结构进行了二维模型仿真,为高频LN BAW滤波器的制备提供了理论依据.

关键词：铌酸锂(LN)单晶薄膜;固态反射型;有限元;机电耦合系数;谐振器

所属期刊栏目：44

分类号：TN384;TN65(半导体技术)

在线出版日期：2022-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29