基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性

摘要：

该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6 H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6 H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化.结果表明,IDT/ScAlN/6 H-SiC结构的机电耦合系数可达到5.4％,对应的相速度为6.36 km/s,添加短路金属后,机电耦合系数值和相速度均有所提高,Metal/ScAlN/IDT/6 H-SiC结构下优化的机电耦合系数和相速度分别为15.78％和7.33 km/s.

关键词：声表面波;Sc掺杂氮化铝(AlN);6H-SiC;相速度;机电耦合系数

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分类号：TN384;TN713;O429(半导体技术)

资助基金：广东省重点领域研发计划基金资助项目;天津教委科研计划基金资助项目;天津市科技特派员基金资助项目;大学生创新创业基金资助项目;大学生创新创业基金资助项目

在线出版日期：2022-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9