跨尺度精密运动压电平台和快速驱动方法研究

摘要：

该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台.该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成,总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm.该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理.为了研究所设计压电平台的驱动性能,制作了样机并建立了实验系统.实验中,驱动频率7 kHz时最大的单步步距为2.67μm,最大速度为22.7 mm/s,最大静态保持力为36 N.实验结果表明,该文设计的平台可快速运动,具有良好的运动性能.

关键词：跨尺度、压电平台、结构设计、粘滑驱动、快速

所属期刊栏目：43

分类号：TN384;TM22;TH13(半导体技术)

资助基金：国家重点研究发展基金资助项目;国家自然科学基金资助项目;江苏省自然科学基金资助项目

在线出版日期：2021-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：187-191