FeGaB磁性薄膜中涡流损耗抑制方法的仿真

摘要：

在体声波(BAW)磁电天线结构中,磁致伸缩层中的磁性薄膜在高频磁场中产生的感生电流会引起涡流损耗,进而影响天线器件的辐射性能.为了分析和抑制磁性薄膜的涡流损耗,利用有限元仿真法建立了FeGaB磁性薄膜的涡流损耗模型,根据涡流的趋肤效应,同时讨论了磁性薄膜表面和体内的涡流损耗.采用在FeGaB中插入Al2 O3薄膜的隔离方法抑制涡流损耗,比较并讨论了Al2 O3薄膜的3种不同隔法,分别得到表面和体内涡流抑制的最优隔法.综合考虑总涡流损耗的影响,提出了一种"交叉隔"方式为抑制总涡流损耗的最优隔法.仿真结果表明,采用该优化方法在磁性薄膜中加入10 nm Al2 O3薄膜隔离后,总涡流损耗的抑制率高于65%.

关键词：体声波磁电天线、磁致伸缩薄膜、FeGaB、涡流损耗、Al2O3

所属期刊栏目：42

分类号：TN384;TN822(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61574131

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：357-360