布喇格反射型宽带单晶薄膜体声波滤波器

摘要：

该文研究了一种新型布喇格反射型薄膜体声波(BAW)滤波器的设计方法与制备技术.BAW器件选择机电耦合系数较大的Y43°-铌酸锂(Y43°-LN)单晶薄膜作为压电层材料,并以苯并环丁烯(BCB)作为晶圆键合层,采用离子注入剥离法将亚微米厚度的Y43°-LN单晶薄膜转移至具有布喇格反射层的衬底.BCB既作为键合层,也作为布喇格反射层的第一低声阻抗层,实现了单晶BA W滤波器的制备.设计并制备了三阶BA W滤波器,中心频率为2.93 GHz,绝对带宽和分数带宽分别为247 MHz和8.4%.结果表明,采用薄膜转移技术制备的高机电耦合系数LN单晶薄膜能够实现大带宽BAW滤波器的制备.

关键词：BAW滤波器、离子注入剥离法、铌酸锂单晶薄膜、机电耦合系数、苯并环丁烯

所属期刊栏目：42

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家重点研发计划项目;国家自然科学基金资助项目

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：303-306