用于挠性驱动的短筒型压电振子研究

摘要：

面内模态压电振子是压电驱动的一个重要分支,小型的面内模态压电振子研究较少.为了拓宽面内弯曲压电振子的应用,提出了一种短筒型压电振子,可用于挠性驱动.利用ANSYS有限元软件确立了压电振子的结构尺寸、工作模态及固有频率.振子外径?30 mm,高度 12 mm,且外圈均布36 个2 mm 高的齿形结构,用于放大振幅.结果表明,该结构能够很好地激发出两同频正交三阶面内弯曲工作模态.实验测得振子在B03工作模态下具有同频正交性且谐振频率为27 140 Hz,与仿真结果吻合.通过实验验证了压电振子用于挠性驱动的可行性.

关键词：挠性驱动、压电振子、面内弯曲模态、有限元分析

所属期刊栏目：42

分类号：TN384;TM22;TB535(半导体技术)

在线出版日期：2020-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：88-92