一种窄带温补型声表面波滤波器

摘要：

该文介绍了一种频率温度系数接近0 的窄带温补型声表面波滤波器.该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌.制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试.测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1 360 MHz,在-55～85 ℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10-6/℃,插入损耗约1.3 dB.

关键词：声表面波滤波器、温补型声表面波、频率温度系数

所属期刊栏目：42

分类号：TN65(电子元件、组件)

资助基金：国家科技攻关计划基金资助项目

在线出版日期：2020-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70