基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究

摘要：

使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k2),且讨论了ZnO薄膜厚度hZnO和AlN薄膜厚度hAlN对这些参数的影响.结果 表明,当hZnO=1 μm,hAlN=1.88 μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9 208 m/s,k2=3.84％,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中.

关键词：频率温度系数(TCF)、机电耦合系数(k2)、COMSOL、Love波

所属期刊栏目：41

分类号：TN65(电子元件、组件)

在线出版日期：2020-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：802-805