300MHz氮化铝轮廓模式谐振器的设计

摘要：

氮化铝轮廓模式谐振器(CMR)能够满足现代无线通信对单片、多频段、可重构的多频率源的需求,具有很大的应用前景.针对目前无具体单个CMR频点的设计方法,提出了一种结合CMR性能参数的影响因素分析和有限元计算的CMR设计方法.该文对CMR的谐振频率、质量因子、机电耦合系数和动态电阻等谐振器主要性能参数的影响因素进行理论分析得到CMR结构的初始尺寸,再利用COMSOL有限元软件建立CMR几何模型并进行频域求解得到相应的频率-导纳曲线和频率-质量因子曲线;根据仿真结果和理论计算对CMR初始结构尺寸进行优化,并仿真设计了一个氮化铝CMR,其谐振频率为300 MHz,质量因子约为1 010,机电耦合系数约为1.64％.

关键词：轮廓模式谐振器、氮化铝、谐振频率、动态电阻、质量因子、机电耦合系数

所属期刊栏目：41

分类号：TN713+.2(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61574131;西南科技大学研究生创新基金资助项目19ycx0113

在线出版日期：2020-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：775-778