先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展

摘要：

微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用.高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用.该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述.

关键词：微纳加工技术、微陀螺、微半球谐振陀螺、微光学陀螺、声表面波(SAW)陀螺、微惯性测量单元

所属期刊栏目：41

分类号：TN65(电子元件、组件)

在线出版日期：2019-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：410-415