压电驱动微动平台结构的设计优化和仿真分析

摘要：

采用双平行柔性铰链结构设计了一种二维微动平台,并计算了微动平台各方向的刚度.根据约束条件,建立了理论刚度数学模型;采用序列二次规划(SQP)算法对平台结构进行多目标优化,并通过MATLAB软件对数学模型进行求解;利用ANSYS软件对优化后平台的位移、刚度和固有频率进行仿真分析.理论计算和仿真结果表明,微动平台具有良好的静、动态特性.

关键词：微动平台、柔性铰链、序列二次规划算法、结构优化、仿真分析

所属期刊栏目：41

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：大连市科技创新基金资助项目991631

在线出版日期：2019-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：396-399