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10.11977/j.issn.1004-2474.2019.03.018

压电驱动微动平台结构的设计优化和仿真分析

引用
采用双平行柔性铰链结构设计了一种二维微动平台,并计算了微动平台各方向的刚度.根据约束条件,建立了理论刚度数学模型;采用序列二次规划(SQP)算法对平台结构进行多目标优化,并通过MATLAB软件对数学模型进行求解;利用ANSYS软件对优化后平台的位移、刚度和固有频率进行仿真分析.理论计算和仿真结果表明,微动平台具有良好的静、动态特性.

微动平台、柔性铰链、序列二次规划算法、结构优化、仿真分析

41

TN384(半导体技术)

大连市科技创新基金资助项目991631

2019-07-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

396-399

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压电与声光

1004-2474

50-1091/TN

41

2019,41(3)

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