基于能陷理论的石英力敏谐振器集群的设计

摘要：

石英谐振器可以作为传感器的敏感元件.为了减小温度等因素的干扰,提高石英晶体谐振器力敏特性,通过能陷理论及其厚度剪切石英晶体谐振能量分布曲线的计算,在同一圆形晶片上设计了多电极力敏谐振器集群.根据共模抑制原理,将谐振器集群输出频率信号作差频处理,以此抑制温度等因素的干扰,再将差频信号叠加以提高石英晶体谐振器集群整体力敏特性.实验结果表明,石英谐振器集群差频输出的温频特性明显优于传统的单电极谐振器,石英晶体谐振器集群整体力灵敏度系数提高到9992 Hz/N.

关键词：厚度剪切石英晶体、石英力敏谐振器集群、能陷理论、力传感器

所属期刊栏目：41

分类号：TN384;TH703(半导体技术)

资助基金：北京市自然科学基金重点资助项目KZ201511232037;北京市教育委员会科技计划基金资助项目KM201511232022;现代控制技术教育部重点实验室北京信息科技大学基金

在线出版日期：2019-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：349-352,356