LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制

摘要：

该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器.采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5 MHz,反谐振频率为3986.25 MHz,插入损耗为1.81 dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3％.

关键词：机电耦合、智能截割、铌酸锂(LiNbO3)单晶薄膜、薄膜体声波谐振器

所属期刊栏目：41

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：330-334