用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究

摘要：

采用了溶胶-凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10μm、结构致密的锆钛酸铅(PZT)厚膜.研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响,X射线衍射分析表明,采用700℃退火处理20 min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构.厚膜的电学性能测试结果显示,厚膜的剩余极化强度(P r)为7.5μC/cm2,矫顽场强(E c)为7.2 V/μm,压电常数(d 33)为73 pC/N.设计制作了长20 mm、宽4 mm的压电悬臂梁结构振动能量收集器.输出性能测试结果显示,振动频率为95 Hz,采集器输出电压最高,输出电压值为862 mV.

关键词：锆钛酸铅(PZT)、厚膜、溶胶-凝胶法、电学性能、振动能量收集器

所属期刊栏目：40

分类号：TN384;TM215(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金青年基金资助项目51505265

在线出版日期：2018-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：604-607,611