MEMS加速度计混合误差标定补偿方案

摘要：

针对微机电系统(MEMS)加速度计在实际使用过程中存在非正交零偏误差和温度漂移误差的问题,提出了一种混合误差标定补偿算法.算法通过分析加速度计温度与误差的关系,在不同温度区间下建立加速度计输出的误差模型,在每个温度区间采用十二位置校准法对加速度计的非正交零偏误差进行标定补偿,得到精确的零偏和刻度因子,同时采用最小二乘法拟合零偏和刻度因子与温度的一维关系函数,最终实现不同温度区间下的动态误差补偿.实验结果表明,本算法可使加速度计输出的精度提高1个数量级,补偿效果明显.

关键词：微机电系统(MEMS)加速度计、十二位置校准、最小二乘法、温度区间、动态误差补偿

所属期刊栏目：40

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61301124,61471075,61671091;重庆市科委基础研究基金资助项目cstc2014jcyjA1350;重庆邮电大学博士启动基金资助项目A2015-40;重庆科委自然科学基金资助项目cstc2016jcyjA0347

在线出版日期：2018-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：589-593